У выніку 2-га падзелу Рэчы Паспалітай у 1793 г. усходняя частка павета адышла да Расійскай імперыі. З 1795 г. Ашмянскі павет адыйшоў да Віленскай губерні. Складаўся з 7 валасцей (праўленні ў Ашмянах, Бакштах, Дзевянішках, Крэве, Лошы, Смаргоні, Трабах), у канцы XIX — пачатку XX стст. з 23 валасцей, тэрыторыя 6196,5 кв. вёрст, насельніцтва 233 559 чал.