Эдуард Іванавіч Тачыцкі
Эдуард Іванавіч Тачыцкі | |
---|---|
Дата нараджэння | 19 ліпеня 1935 |
Месца нараджэння | |
Дата смерці | 28 лістапада 2007[1] (72 гады) |
Грамадзянства | |
Род дзейнасці | навуковец |
Навуковая сфера | матэрыялазнаўства і мікраэлектроніка |
Месца працы | |
Навуковая ступень | доктар тэхнічных навук[2] (1974) і член-карэспандэнт НАН Беларусі[2] (1994) |
Навуковае званне |
|
Альма-матар |
|
Эдуард Іванавіч Тачыцкі (19 ліпеня 1935, Мінск — 28 лістапада 2007) — беларускі вучоны ў галіне матэрыялазнаўства ў машынабудаванні і ў мікраэлектроніцы, фізіцы і тэхналогіі тонкіх плёнак і пакрыццяў. Член-карэспандэнт Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі (1994). Доктар тэхнічных навук (1974), прафесар (1981).
Біяграфія
[правіць | правіць зыходнік]Скончыў Белдзяржуніверсітэт (1959). У 1959—1976 гадах малодшы навуковы супрацоўнік, старшы інжынер, галоўны інжынер, старшы навуковы супрацоўнік, загадчык лабараторыі фізіка-тэхнічнага інстытута. У 1976—1990 гадах загадчык лабараторыі Інстытута электронікі. З 1990 года дырэктар інжынернага цэнтра «Плазматэг» Нацыянальнай АН Беларусі.
Навуковая дзейнасць
[правіць | правіць зыходнік]Навуковыя працы прысвечаны даследаваннях рэальнай структуры тонкіх плёнак, з’яў эпітаксіі, кінэтыкі і тэрмадынамікі фазаутварэння пры вакуумнай кандэнсацыі тонкіх плёнак і пакрыццяў. Стварыў тэорыю кінэтыкі зараджэння і росту пакрыццяў ва ўмовах як стацыянарнага, так і імпульснай аблогі, усталяваў уплыў размерных эфектаў на структурныя і фазавыя ператварэння ў тонкаплёнкавых сістэмах, залежнасць фізічных уласцівасцяў і крышталяграфічны структуры плёнак ад умоў крышталізацыі і наступнай тэрмаапрацоўкі. Распрацаваў навуковыя асновы новага напрамку ў матэрыялазнаўстве для мікраэлектронікі: фарміраванне ў вакууме элементаў звышвялікіх інтэгральных схем(ЗБІС), ахоўных і пасівіруючых пакрыццяў з імпульсных патокаў паскоранай плазмы; сфармуляваў прынцыпы рэалізацыі метастабільных станаў у плёнках і тонкаплёнкавых сістэмах, эксперыментальна атрымаў алмазныя і алмазападобныя вугляродныя плёнкі пры нізкіх тэмпературах на падкладках з розных матэрыялаў. Стварыў канцэпцыю «сухой» ўльтрафіялетавай лазернай праекцыйнай мікралітаграфіі, на яе аснове распрацаваў новую прагрэсіўную тэхналогію вырабу ЗБІС у адзіным тэхналагічным цыкле. Вядомы як вучоны ў галіне ключавых працэсаў навукаёмістага, нематэрыялаёмкага сучаснага машынабудавання, павышэння даўгавечнасці і надзейнасці машын і механізмаў метадам нанясення умацоўваючых, зносастойкіх, цеплаахоўных і каразійна-стойкіх пакрыццяў на дэталі машын і механізмаў. Распрацаваў унікальную тэхналогію і прамысловае абсталяванне, стварыў паскаральнікі імпульснай катодна-дугавой эразійнай плазмы, якія дазваляюць атрымліваць нанаразмерные матэрыялы і з высокай дакладнасцю наносіць шматслойныя і шматкампанентныя пакрыцця зададзенага складу і таўшчыні, а таксама сінтэзаваць раней невядомыя матэрыялы пры праграмуемым змешванні ў любых прапорцыях і спалучэннях плазменных патокаў рэчываў, якія ў раўнаважкіх умовах ўзаемна не раствараюцца і не рэагуюць. У апошнія гады развівае ў Беларусі новыя навуковыя напрамкі: мікрамеханічныя сістэмы і нанаэлектроніку.
Аўтар больш за 370 навуковых прац, у тым ліку 3 манаграфій, 70 вынаходстваў і патэнтаў[3][4][5].
Асноўныя працы
[правіць | правіць зыходнік]- Структура тонких металлических пленок. Мн., 1968 (с В. П. Северденко).
- Кристаллизация и термообработка тонких пленок. Мн., 1976.
Крыніцы
[правіць | правіць зыходнік]- ↑ Беларусь у асобах і падзеях Праверана 15 ліпеня 2024.
- ↑ а б Беларуская энцыклапедыя: У 18 т. Т. 15: Следавікі — Трыо — Мн.: Беларуская Энцыклапедыя імя Петруся Броўкі, 2002. — С. 465. — 552 с. — ISBN 985-11-0251-2
- ↑ Эдуард Іванавіч Тачыцкі
- ↑ Точицкий Эдуард Иванович
- ↑ Точицкий Эдуард Иванович
Літаратура
[правіць | правіць зыходнік]- Савік М. П. Тачы́цкі Эдуард Іванавіч // Беларуская энцыклапедыя: У 18 т. Т. 15: Следавікі — Трыо / Рэдкал.: Г. П. Пашкоў і інш. — Мн. : БелЭн, 2002. — Т. 15. — С. 465. — 10 000 экз. — ISBN 985-11-0035-8. — ISBN 985-11-0251-2 (т. 15).
Спасылкі
[правіць | правіць зыходнік]- Эдуард Іванавіч Тачыцкі ў базе даных «История белорусской науки в лицах» Цэнтральнай навуковай бібліятэкі імя Якуба Коласа НАН Беларусі (руск.)